產品名稱:鷹眼系列3D形貌測試儀

產品型號: HawkEye-1300

產品品牌: ZOLIX

  
隨著半導體技術的電子技術工藝的發展,電子產品都往小型化,輕薄化發展。iWatch的一經推出,穿戴電子產品成為了一個新的電子設備應用潮流。隨著電子產品的小型化,器件體積越做越小,空間就緊湊起來,這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸,現在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米級別,這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產品質。
卓立漢光的3D形貌測試儀應運而生,這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術,能夠高精度還原產品的3D結構,對肉眼不可見的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度,微米級別的精度和超強的穩定性,一經推出立馬成為精密生產商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃,半導體缺陷檢測和多層光學薄膜厚度檢測,就是這款產品的主要應用領域。
 
卓立漢光長期專注于光譜技術的應用研發,3D形貌測試儀就是常年實踐積累的成果(專利號:CN207556477U)。該項技術,具有以下優點:

 
優點/技術/項目線性共焦光譜技術點測技術激光掃描3D相機
速度1000 line/s1000 point/s1000 line/s多角度拍照快
掃描寬度6.5mm/20mm可選
分辨率1um1um30um100um
界面層數多層多層表面表面
建模
數據量



 
主要特點有:
1、非接觸性測量;
2、線掃描,高效率;
3、微米級精度;
4、滿足透明面及高對比度表面測試;
5、支持二次開發;
 

鷹眼系列3D形貌測試儀主要應用
1、精密部件3D尺寸及段差測試;
2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試;
3、3D玻璃缺陷檢測;
4、半導體表面缺陷測試;
5、多層薄膜厚度測試;

磁盤探頭形貌掃描測試

手機邊框段差測試









3D形貌測試儀產品型號及規格

 HawkEye-1300HawkEye-5000
方式共焦光譜共焦光譜
精度1um8um
重復性±0.3um±4um
線掃寬度6.5mm20mm
Z軸量程范圍1.3mm5mm
掃描速度300line/s(Max:1000line/s)300line/s(max:1000line/s)
重量5Kg8Kg
尺寸460X300X140mm460X300X140mm

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